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臭氧水代替化学药剂的优点

发布时间：2022-07-09 访问量：467 来源：本站

使用臭氧水清洗的优点

使用臭氧水清洗的优点

使用臭氧水去除颗粒金属有机物质的原理

臭氧水处理时间与氧化膜厚度的关系

【结果】

通过臭氧水清洗从而在硅基板表面上形成最大厚度0.8nm的氧化膜。

臭氧水处理方式与颗粒去除率的关系


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